HD414-296雅歌argo過濾器

HD414-259雅歌濾芯	V3.0520-03雅歌濾芯	HD990-159雅歌濾芯
V3.0823-03雅歌濾芯	HD064-196雅歌濾芯	V3.1060-03雅歌濾芯
HD414-296雅歌濾芯	V3.0520-161雅歌濾芯	HD990-186雅歌濾芯
V3.0823-16雅歌濾芯	HD064-156雅歌濾芯	V3.1060-16雅歌濾芯

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。
由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場(chǎng)合的需要。
干泵
SBF840039Z3V SCHROEDER RP300E03V
SBF840039Z5B SCHROEDER RP300E05B
SBF840039Z5V SCHROEDER RP300E05V
SBF84008S15B SCHROEDER RP100E20B
SBF84008S15V SCHROEDER RP100E20V
SBF84008S1B SCHROEDER RP100E03B
SBF84008S1V SCHROEDER RP100E03V

SBF84008S3B SCHROEDER RP100E05B
SBF84008S3V SCHROEDER RP100E05V
SBF84008S7B SCHROEDER RP100E10B
SBF84008S7V SCHROEDER RP100E10V
SBF84008Z10B SCHROEDER RP100E10B
SBF84008Z10V SCHROEDER RP100E10V
SBF84008Z25B SCHROEDER RP100E20B
HQ25.10Z 進(jìn)口替代濾芯HQ25.600.11Z 再生裝置二級(jí)濾芯A110C10富卓油濾芯HC9601FKP13H頗爾濾芯0330D003BN/HC賀德克HYDAC濾芯 R928005575力士樂濾芯 再生泵吸油口濾芯SUS065-B20-P-3-125蓄能器濾芯01.E.60.6VG.HR.E.P英德諾曼濾芯HYS501460150ES普拉賽濾芯  CU100M125N翡翠油濾芯 EPB34NFC進(jìn)口UFI濾芯 V0162B1C05威格士濾芯 PISH06A150W大生濾芯 HQ25.300.12Z哈汽油濾芯